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            磁控濺射工作原理

            2020-05-06

              磁控濺射工作原理:

              這是屬于輝光放電的范疇,它采用陰極濺射原理進行鍍膜。涂層粒子是由輝光放電中氬離子對陰極靶材的濺射作用產生的。靶原子被氬離子濺射下來,沉積在元素表面,形成所需的薄膜。磁控的原理是利用正交電磁場的分布來控制電子在電場中的運動軌跡,使電子在正交電磁場中成為擺線運動,從而大大增加了與氣體分子碰撞的幾率。

              濺射機理:

              濺射就是利用高能粒子(主要是電場加速的正離子)撞固體表面(靶),使固體原子(分子)從表面發射出來的現象。磁控濺射現象由來已久。前人做了大量實驗研究來驗證這個,在這個實驗研究的基礎上,我們對這一重要物理現象得出如下結論:

             ?。?)濺射速率隨入射離子能量的增加而增加,隨入射離子能量的增加而減??;

             ?。?)濺射速率與入射粒子的質量有關

             ?。?)當入射離子能量低于某一臨界值(閾值)時,不會發生濺射;

             ?。?)濺射原子的能量比蒸發原子的能量大許多倍;

             ?。?)當入射離子能量很低時,濺射原子的角分布不符合余弦分布。角分布也與入射離子的方向有關。從單晶靶上濺射出來的原子傾向于向較大晶體密度方向聚集。

             ?。?)由于電子的質量很小,即使目標會被高能電子轟擊,也并不會出現濺射現象。因為磁控濺射是一個比較復雜的物理過程,涉及到很多因素。雖然長期以來人們都在對濺射機理進行大量的研究,提出了許多的理論,但很難解釋濺射現象。


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